在半导体工厂，德国里其乐真空泵以“极限真空、零油污染、低能耗、高可靠”四大指标赢得了产线验证，具体效果体现在以下三方面：
- 制程匹配度
• 干式螺杆 VS 系列极限真空 <0.03 mbar，可在光刻、刻蚀、薄膜沉积等关键工艺保持 0.1–15 mbar 的稳定区间，满足 3 nm 先进节点对颗粒和碳污染的严苛要求。
• 干式旋片泵用于封装测试环节，无油回流，避免 MEMS 器件被油分子污染，良率提升 3–5 %。 - 能耗与运维
• 采用永磁同步电机+VSD 变频，在 50 % 负荷点实测节电 30 %；一条月产 5 万片的 12 吋线每年可省约 120 万 kWh。
• 干式结构取消泵油更换，年维护工时减少 40 %，MTBF 提高到 4 万小时以上，显著降低 fab 停机风险。 - 系统集成与智能监控
• 模块化设计使泵组占地面积缩小 25 %，便于在 sub-fab 密集布局；内置温度、振动传感器接入厂务 FMS 系统，实现远程预警和预测性维护。
• 与罗茨泵/分子泵组成无油机组后，可覆盖从中真空到高真空的完整流程，减少泵种切换，缩短工艺调试周期。
综合来看，里其乐干式真空泵已在国内外多条 12 吋先进产线批量服役，帮助客户实现“高良率、低能耗、少维护”的目标，成为半导体真空方案的核心供应商之一。
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里其乐真空泵中国华东地区代理商 上海瀚盛电子设备科技有限公司 沪太路4099弄43号301室 中国上海市 电话：（021）61073705 传真：（021）61073705 邮箱: hansheng-sh@163.com
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