在 3 nm 及更先进制程中，里其乐（Elmo Rietschle）真空泵的可靠性已被多家晶圆厂实测验证，核心指标全部达到或优于 SEMI 规范，可归纳为“零污染、高稳定、长寿命、可预测”四大维度。
- 零污染——满足 Class 1 洁净室与 3 nm 缺陷管控
• VSH/VS 系列干式螺杆泵采用无油技术并通过 SEMI F47 认证，碳氢化合物排放为“零”，颗粒污染风险被排除在晶圆缺陷统计之外 。
• 全氟橡胶密封 + 316L 不锈钢流道，对 Cl₂、HF、SiH₄ 等蚀刻/沉积气体具备极强抗腐蚀能力，防止腔体二次污染 。 - 高稳定——真空波动小于 ±0.5 %，保障纳米级薄膜均匀性
• 极限真空 0.01 mbar，工作压力波动范围控制在 ±0.5 %，确保 CVD、ALD、离子注入等工艺厚度均匀性 <1 Å 的规格要求 。
• 抗微振动设计：精密动平衡转子与减震底座使振动值 <2.5 mm/s，避免光刻及量测设备因振动导致的套刻误差 。 - 长寿命——MTBF >25 000 h，腐蚀寿命 >60 000 h
• 特殊 DLC 涂层螺杆转子实测在 BCl₃/NF₃ 混合等离子体中连续运行 60 000 h 后涂层完好，金属离子析出量 <1 ppb，符合 3 nm 对金属污染 <5 ppb 的规格 。
• 终身润滑轴承与无油结构将计划外停机降低 70 %，年维护时间由传统方案的 48 h 压缩至 <8 h 。 - 可预测——IoT 实时诊断与工艺追溯
• 内置温度、压力、气体成分传感器，数据接入厂务 FMS，实现预测性维护；在某 12 吋厂部署后，真空系统故障预警准确率 96 %，平均修复时间缩短 50 % 。
• 工艺数据可追溯，满足先进制程对批次记录 (traceability) 的合规要求。
客户实证
某头部晶圆代工厂在 12 吋 5 nm 产线将 60 台传统油封泵替换为 Rietschle VSH 200 干式螺杆泵：
• 系统能耗下降 58 %，年省电费 500 万元；
• 晶圆表面污染率从 0.12 % 降至 0.03 %，良率提升 1.2 %；
• 气体泄漏率 <1×10⁻⁸ Pa·m³/s，工艺稳定性达到国际领先水平 。
某头部晶圆代工厂在 12 吋 5 nm 产线将 60 台传统油封泵替换为 Rietschle VSH 200 干式螺杆泵：
• 系统能耗下降 58 %，年省电费 500 万元；
• 晶圆表面污染率从 0.12 % 降至 0.03 %，良率提升 1.2 %；
• 气体泄漏率 <1×10⁻⁸ Pa·m³/s，工艺稳定性达到国际领先水平 。
http://www.hansheng-sh.com/service.htm
里其乐泵凭借零油污染、纳米级真空稳定性、超长腐蚀寿命与智能预测维护四大技术优势，在 3 nm 及以下先进制程中表现出“半导体级”可靠性，已成为多家晶圆厂真空动力的首选。
http://www.hansheng-sh.com/blog/post/141.html
http://www.hansheng-sh.com/blog/post/100.html
http://www.hansheng-sh.com/blog/post/279.html
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