上海瀚盛专业提供rietschle Gardner denver里其乐真空泵配件销售及售服,为德国里其乐真空泵华东地区授权代理商.021-61073705

在半导体制造这一“失之毫厘，谬以千里”的领域，德国 Rietschle 真空泵凭借五大核心优势，成为晶圆厂从 28 nm 到 3 nm 先进制程的“幕后功臣”。

零污染干式运行
 全系无油螺杆/爪式泵通过 ISO 8573-1 Class 0 与 SEMI F47 双认证，确保碳氢化合物、微粒及油雾“零排放”，满足 Class 1 洁净室对良率的严苛要求 。

极限真空与高工艺窗口
 抽速 3–8 300 m³/h，极限真空 0.01 mbar，且波动 ≤±0.5%；既可为 CVD/ALD 提供稳定背景压力，也能在磁控溅射、OLED 蒸镀中将基础压力拉至 ≤1×10⁻⁴ mbar 。

耐腐蚀与长寿命
 转子表面特殊涂层 + 316L 不锈钢流道 + 全氟橡胶密封，可长期抵御 Cl₂、HF、SiH₄ 等强腐蚀气体；MTBF>25 000 h，维护周期>60 000 h，大幅降低机台 downtime 。

节能减碳
 相比传统油扩散泵节能 65%，配合变频驱动后额外省电 15–25%，帮助晶圆厂年省电费数百万元，并直接支持 ESG 评级 。

智能监控与微振动抑制
 内置 IoT 传感器实时监测温度、压力、气体成分，支持预测性维护；动平衡转子 + 减震底座将振动控制在 <2.5 mm/s，避免纳米级图形偏移 。

典型落地案例：某 12 英寸晶圆厂在 CVD 工艺段以 Rietschle VSH 200 替换涡轮分子泵后，能耗下降 58%，晶圆表面污染率由 0.12% 降至 0.03%，良率提升 1.2%，年节省电费逾 500 万元 。

从光刻胶涂覆、干法蚀刻到芯片封装真空贴膜，Rietschle 以“零污染、耐腐蚀、超稳定”的核心价值，为半导体客户构建高纯度、高可靠的真空动力底座。

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